Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미

2017.12.17 01:31

심규웅 조회 수:1028

안녕하세요.

반도체 assembly 회사에서 근무하고 있습니다.

ICP / CCP 에서 coupled (결합) 란 의미가 plasma 관점에서 정확히 무엇인지 알수 있나요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76683
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57154
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68675
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92189
627 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 754
626 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 760
625 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 770
624 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 780
623 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 784
622 Collisional mean free path 문의... [1] 785
621 라디컬의 재결합 방지 [1] 788
620 플라즈마 충격파 질문 [1] 792
619 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 798
618 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 799
617 Self bias 내용 질문입니다. [1] 803
616 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 804
615 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 806
614 RF 파워서플라이 매칭 문제 811
613 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 811
612 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 823
611 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 826
610 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 839
609 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 841
608 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 842

Boards


XE Login