안녕하세요 반도체회사에서 일하는 엔지니어입니다.

RF MATCHING NETWORK에 대해 독학을 하고 싶은데 관련 교재 추천 부탁드리겠습니다.


감사합니다.

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612 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 801
611 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 806
610 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 813
609 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 816
608 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 823
607 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 824
606 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 825
605 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 827
604 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 828
603 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 832
602 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 837
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600 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 844
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