안녕하세요

저는 직장인입니다

회사에서 OLED쪽 CVD 장비유지보수 업무를 하고있습니다

그동안 플라즈마 연구실에서 궁금한거 눈팅만 하다가 이번에는 없어서 직접 질문드립니다

보안에 위배될까봐 자세히는 적지 못 합니다 이해 부탁드립니다.

증착 중 부속 장비의 알람 발생으로 증착 중 RF Power 및 가스 Flow가 중단되어 증착이 중단됩니다

Alarm 발생 Glass를 살리기 위해 Glass 제전(전극과 Glass 간격을 벌려줌) 후 추가증착을 진행(추가증착시 전극에 Glass 안착 후)하는데

이 추가증착 진행 Glass에서 흰얼룩(뿌연얼룩/방사형얼룩)이 발생됩니다

이것을 해결 하기 위한 방법이 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [301] 78014
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20833
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57735
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69248
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93624
657 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 712
656 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 738
655 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 739
654 plasma 공정 중 색변화 [1] 743
653 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해] [1] 744
652 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 745
651 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 747
650 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 750
649 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 750
648 Polymer Temp Etch [1] 756
647 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 761
646 ICP 후 변색 질문 762
645 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 764
644 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 772
643 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 775
642 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 775
641 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 788
640 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 789
639 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 790
» 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 800

Boards


XE Login