ESC ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요??
2021.09.14 15:33
진공상태에서 ESC 표면의 온도가 모두 같지는 않기 때문에 Inner랑 outer에서 조금의 온도 차이가 있을 텐데
이러한 온도 차이 때문에 wafer에서의 식각률의 차이가 어떤 이유로 있는건지 알 수 있을까요??
온도별로 영역별 식각정도가 다를 경우가 있는데 어떤 이유가 있을지 궁금해서요
도움 부탁드립니다!
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76729 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20192 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68701 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92279 |
629 | 기중방전에서 궁금한것이 | 19162 |
628 | 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? | 19071 |
627 | AMS진단에 대하여 궁금합니다 | 19049 |
626 | 플라즈마에 관하여... | 18960 |
625 | RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] | 18875 |
624 | 등온플라즈마와 비등온플라즈마 | 18767 |
623 | 플라즈마의 환경이용 | 18761 |
622 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18740 |
621 | 플라즈마진단법엔 어떤것이? | 18731 |
620 | 주변의 플라즈마에 대하여 | 18652 |
619 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18565 |
618 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18552 |
617 | surface wave plasma 에 대해서 [1] | 18545 |
616 | 최적의 펌프는? | 18540 |
615 | 형광등에서 일어나는 물리적인 현상 | 18527 |
614 | RF compensate probe | 18452 |
613 | 질문 있습니다. [1] | 18368 |
612 | 물리적인 sputterting | 18366 |
611 | Faraday shielding & Screening effect | 18352 |
610 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18316 |