ESC ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의
2021.06.02 16:54
안녕하세요.
반도체 회사 설비 엔지니어로 관련 200mm conductor etcher 에서 ceramic esc 를 사용하고 있습니다.
해당 esc 를 운용하면서 공정 진행중 b-he flow error 증가하면서 error 가 발생하고 빈도가 잦아지면 교체를 하게 되는데
해당 esc 분리하여 외부 검증 요청시 표면에 polymer가 증착되어 chucking 을 떨어뜨린다고 합니다.
국내 major 회사에서도 동일한 문제가 있어서 ISD란 공정을 진행하여 polymer 제거를 하여 he error 를 개선한 이력이 있다고 하여
ISD 공정이 무엇인지..해당 공정 parameter 가 어떤것이지...가능하다면 recipe 를 어떻게 구성해야 하는지에 대한
referance 를 문의 드립니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76742 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20213 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57169 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68705 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92299 |
629 | 기중방전에서 궁금한것이 | 19162 |
628 | 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? | 19072 |
627 | AMS진단에 대하여 궁금합니다 | 19049 |
626 | 플라즈마에 관하여... | 18960 |
625 | RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] | 18875 |
624 | 등온플라즈마와 비등온플라즈마 | 18768 |
623 | 플라즈마의 환경이용 | 18761 |
622 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18741 |
621 | 플라즈마진단법엔 어떤것이? | 18731 |
620 | 주변의 플라즈마에 대하여 | 18654 |
619 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18565 |
618 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18552 |
617 | surface wave plasma 에 대해서 [1] | 18545 |
616 | 최적의 펌프는? | 18540 |
615 | 형광등에서 일어나는 물리적인 현상 | 18527 |
614 | RF compensate probe | 18452 |
613 | 질문 있습니다. [1] | 18368 |
612 | 물리적인 sputterting | 18367 |
611 | Faraday shielding & Screening effect | 18353 |
610 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18316 |