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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58775
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 73049
629 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. 7
628 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 87
627 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 102
626 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 137
625 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 138
624 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 143
623 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 147
622 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 150
621 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 158
620 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 159
619 anode sheath 질문드립니다. [1] 163
618 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 165
617 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 167
616 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 171
615 라디컬의 재결합 방지 [1] 171
614 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 173
613 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 175
612 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 177
611 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 183
610 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 191
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