번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48553
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 49550
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 54960
543 Do połówki dam new 0
542 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 45
541 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 51
540 플라즈마 살균 방식 [1] 58
539 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 61
538 표면상태에 따른 코팅 전후 비교(PVD) [2] file 68
537 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 70
536 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 82
535 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 85
534 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 89
533 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 117
532 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 143
531 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 155
530 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 160
529 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 175
528 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 183
527 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 184
526 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 185
525 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 186
524 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 187

Boards


XE Login