번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [45] 805
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 701
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49309
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58336
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 72177
628 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 24
627 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 45
626 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 87
625 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 92
624 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 119
623 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 120
622 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 126
621 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 130
620 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 130
619 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 133
618 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 134
617 anode sheath 질문드립니다. [1] 139
616 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 147
615 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 149
614 라디컬의 재결합 방지 [1] 150
613 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 153
612 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 163
611 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 163
610 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 167
609 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 167

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