번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48631
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 50135
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 55155
564 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] newfile 14
563 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 45
562 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 52
561 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 59
560 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 68
559 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 77
558 알고싶습니다 [1] 79
557 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 82
556 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 89
555 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 92
554 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 93
553 이게 플라즈마가 맞나요? [1] 97
552 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 101
551 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 104
550 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 110
549 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 132
548 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 143
547 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 151
546 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 154
545 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 162

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