Others 연면거리에 대해 궁금합니다.

2020.10.13 15:31

김민수 조회 수:867

안녕하세요. 교수님

저는 하단에 13.56Mhz RF Bias 와 상부의 MW를 통한 2중 Plasma 생성 구조를 가진 Etcher 장비 챔버를 연구하고있습니다.

현 질문의 배경에는 단순하게 척을 감싸는 세라믹의 두께를 증가시켰더니 아킹발생 정도가 줄어든 것인데요.

저는 이걸 연면거리와 관계있다고 생각하는데 몇일 째 확실한 답안을 도출 못해 도움을 요청드립니다.

구글링해본 결과로는 연면거리의 parameter는 가동 전압, 오염도, 격리 유형, 절연물질 저항 등등 다양한 요소가 있는 것 같습니다.

그런데 조절한 값은 세라믹 두께이니 절연물질의 저항? 이 올라간거라고 생각합니다.

근데 이거에 대한 관련 식을 찾아볼 수 도 없었고, 영향력을 수치로써 표현하기가 너무 어렵습니다. 그리고 실제 세라믹 두께 증가로 인한 연면거리 증가가 아킹발생 정도 저하에 실제로 영향을 끼쳤을 지도 확신이 서질 않습니다.

두께값등 구체적인 수치를 나열하기는 양도 많아지고 하여 적지는 않겠지만 교수님이 가지고 계신 개인적인 경험 이야기가 궁금합니다..

답변주시길 기다리고 있겠습니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [284] 77278
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20485
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57401
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68923
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92983
628 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 800
627 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 802
626 Collisional mean free path 문의... [1] 807
625 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 808
624 플라즈마 충격파 질문 [1] 817
623 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 819
622 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 820
621 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 824
620 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 829
619 라디컬의 재결합 방지 [1] 829
618 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 834
617 RF 파워서플라이 매칭 문제 847
616 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 848
615 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 850
614 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 854
613 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 858
612 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 860
611 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 865
610 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 865
» 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 867

Boards


XE Login