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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68907
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92959
546 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1187
545 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1188
544 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1203
543 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1211
542 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1212
541 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1219
540 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1232
539 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1238
538 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1242
537 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1256
536 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1263
535 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1268
534 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1274
533 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1287
532 플라즈마 챔버 [2] 1292
531 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1295
530 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1298
529 플라즈마 기초입니다 [1] 1301
528 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1323
527 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1327

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