번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [302] 78020
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20836
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57736
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69250
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93626
77 CCP/ICP , E/H mode 23172
76 No. of antenna coil turns for ICP 23175
75 고온플라즈마와 저온플라즈마 23231
74 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23302
73 DC glow discharge 23306
72 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23368
71 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23493
70 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 23531
69 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23848
68 Arcing 23927
67 plasma and sheath, 플라즈마 크기 24018
66 플라즈마 쉬스 24029
65 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24137
64 self Bias voltage 24193
63 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 24248
62 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24422
61 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 24488
60 플라즈마가 불안정한대요.. 24553
59 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24690
58 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24748

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