번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [284] 77284
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20486
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57404
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68931
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92985
749 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 328
748 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 337
747 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 338
746 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 343
745 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 345
744 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 346
743 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 352
742 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 370
741 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 378
740 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 380
739 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 381
738 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 383
737 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 383
736 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 385
735 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 388
734 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 397
733 plasma modeling 관련 질문 [1] 397
732 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 407
731 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 408
730 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 417

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