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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy]
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CCP 장비 하부 전극 dc 펄스 전력
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가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해]
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792 |
Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length]
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FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석
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790 |
Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해]
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789 |
공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate]
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788 |
liquid plasma 공부 방향에 대해서 알고싶습니다.
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HF PLASMA DEPOSITION 시 POWER에 따른 DEP RATE 변화 [장비 플라즈마, Rate constant]
[1] | 564 |
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786 |
Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해]
[1] | 573 |
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785 |
RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해]
[1] | 576 |
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784 |
chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성]
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783 |
Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다.
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782 |
플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상]
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781 |
plasma modeling 관련 질문 [Balance equation]
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780 |
E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포]
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779 |
타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [플라즈마 확산]
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778 |
RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트]
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777 |
RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화
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776 |
gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제]
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