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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76855
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20262
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57193
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68747
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92610
677 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 592
676 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 592
675 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 593
674 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 596
673 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 598
672 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 598
671 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 606
670 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 608
669 RF Sputtering Target Issue [2] file 610
668 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 612
667 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 613
666 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 615
665 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 615
664 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 615
663 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 616
662 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 621
661 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 623
660 plasma 공정 중 색변화 [1] 625
659 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 630
658 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 636
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