안녕하세요. 카이스트에서 석사 1년차로 있는 대학원생입니다.

 

Single probe로 electron energy probability distribution을 구할 때, low energy electron은 bulk plasma에서 평형 상태에 도달한 전자들을 지칭하고 high energy electron은 cathode에서 방출되고 probe sheath를 통해 bulk plasma로 가속되는 전자들을 지칭하는 것으로 알고 있습니다.

 

이 두 그룹의 전자들을 구분할 수 있는 식이 따로 있는지 궁금합니다. 실험을 통해 얻은 EEPF에서 몇 eV부터 몇 eV까지는 low energy electrons이고 몇 eV부터 몇 eV까지는 high electrons이다 라는 형태의 답을 얻고 싶습니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1686
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 5726
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49539
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75989
643 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 74
642 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 102
641 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 110
640 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 124
639 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 124
638 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 166
637 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 175
636 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 183
635 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 183
634 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 186
633 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 190
632 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 192
631 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 196
630 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 200
629 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 201
628 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 208
627 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 209
626 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 210
625 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 212
624 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 217

Boards


XE Login