안녕하세요. 감사하게도 플라즈마에 관한 수많은 질문과 답변들을 읽으며 많은 도움을 받고 있습니다.

 

저는 수도권 내 대학 기계공학과에 재학중인 학부연구생입니다.

 

다름이 아니라, 이번에 새로운 프로젝트를 기획하게 되었는데,

주제는 "DBD플라즈마를 활용한 마스크 소독기"가 되었습니다. 지름 150mm, 높이 200mm 수준의 실린더형 제품으로 구상중입니다.

 

드릴 질문은 다음과 같습니다.

1. DBD plasma generator 설계에 있어 플라즈마 리액턴트에 관한 조언

 

2. Parallel Plates 혹은 원통형의 DBD 플라즈마를 구성함에 있어 중요한 공정 변수들(rf generator, 전극과 유전체의 재료 properties, 전극과 유전체 사이 간격, 원통의 길이 등)

 

3. 소독이 진행 되어질 챔버(폴리머 or 메탈)에관한 전문가님들의 조언이 필요하게 되어 글을 작성하게 되었습니다.

 

바쁘신 와중에 읽어주셔서 감사합니다.

 

 

 

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [60] 1484
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 1892
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49508
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59711
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75510
643 Bias 관련 질문 드립니다. 31
642 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 47
641 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. 85
640 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 96
639 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 115
» 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 119
637 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 153
636 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 154
635 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 161
634 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 162
633 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 163
632 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 172
631 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 173
630 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 173
629 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 181
628 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 182
627 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 185
626 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 198
625 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 198
624 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 200

Boards


XE Login