Plasma Source Plasma Generator 관련해서요.
2018.10.24 11:25
안녕하세요.
플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.
한가지 질문 드릴게 있어서요,
Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서
두개의 matching box로 가게 가능 할까요?
즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.
이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서
어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?
관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78037 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20847 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57737 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93631 |
639 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 792 |
638 | 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] | 800 |
637 | 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] | 804 |
636 |
Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다.
[1] ![]() | 807 |
635 | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 808 |
634 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 809 |
633 | 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] | 812 |
632 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 813 |
631 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 824 |
630 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 829 |
629 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 835 |
628 | 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] | 835 |
627 | DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] | 843 |
626 | Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] | 849 |
625 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 850 |
624 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 852 |
623 | ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] | 854 |
622 | PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] | 864 |
621 | 라디컬의 재결합 방지 [1] | 864 |
620 | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 867 |
가능하지 않을 이유가 없을 것 같습니다만, matcher 동작이 매우 어색할 것 같고, 공정 제어에 matcher의 성능은 매우 중요한 인자이므로 metcher 반응을 늦게 만드는 요인은 가능한 제거하는 것이 좋을 것 같습니다.