Ashing O2 Asher o-ring 문의드립니다.
2020.07.30 19:43
안녕하세요
재직중인 곳에서 O2 Asher 를 사용하고 있습니다.
약 3개월 마다 장비 유지보수 및 cleaning을 진행하고 있는데
그때마다 항상 O-ring이 갈라져 있고, 주변으로 흰색 가루(?) 같은 것들이 있습니다.
Ar를 사용하는 PVD 장비의 O-ring은 1년을 써도 멀쩡한데 O2 asher만 그러네요....
O-ring 재질은 바이톤 재질을 사용하고 있습니다.
O2 Asher에 적합한 O-ring이 무엇인지 알고 싶습니다.
그리고 발생된 흰가루나 갈라진 O-ring이 out gasing, particle을 유발하여 제품에 영향을 미칠까요?
작업 용도는 세라믹 기판에 코팅된 PR을 노광 및 현상 후 표면 Cleaning 용도로 쓰고 있습니다.
무더위 건강 유의하시고 좋은 하루 되시길 바랍니다.!!
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78047 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20850 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57738 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93636 |
| 639 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 792 |
| 638 | 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] | 800 |
| 637 | 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] | 804 |
| 636 |
Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다.
[1]  | 807 |
| 635 | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 808 |
| 634 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 810 |
| 633 | 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] | 812 |
| 632 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 813 |
| 631 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 824 |
| 630 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 829 |
| 629 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 835 |
| 628 | 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] | 835 |
| 627 | DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] | 843 |
| 626 | Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] | 849 |
| 625 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 850 |
| 624 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 853 |
| 623 | ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] | 854 |
| 622 | PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] | 864 |
| 621 | 라디컬의 재결합 방지 [1] | 864 |
| 620 | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 867 |
제 생각에는 Asher chamber 에서 Oring 근방의 열변화 및 산화에 의한 경화가 심할 수 밖에 없을 것 같습니다. 플라즈마의 역할이 열(에너지)전달과 산화(해리 진작)이 고려되고 세정 후 byprodcut가 oring 열화에 기여할 것 같지는 않습니다. 개선책은 딱히 떠오르지 않습니다만, 디자인으로 일부 늦출 수 있지 않을지 모르겠습니다. (plasma 열 전달과 plasma 확산 부에서 현재위치 보다 떨어뜨리거나 냉각효율이 높게 oring groove 를 세밀하게 조절하는 방법 등이 어떨까 합니다. 자칫 공정에 영향을 미칠 수 있는 부분이니 데이터를 축적해서 교정해 나가는 것이 좋겠습니다.