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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64546
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478 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1212
477 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 1213
476 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1219
475 charge effect에 대해 [2] 1224
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473 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1238
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471 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1242
470 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1244
469 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1246
468 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1246
467 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1248
466 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1262
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464 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1270
463 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1274
462 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1274
461 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1279
460 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 1283
459 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 1286

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