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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76965
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596 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1423
595 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1438
594 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1462
593 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching] [3] 1465
592 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [CCP 방전 원리] [1] file 1474
591 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion] [1] 1475
590 PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] 1480
589 Group Delay 문의드립니다. [마이크로파] [1] 1481
588 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1481
587 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1486
586 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation] [1] 1486
585 plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학] [1] 1487
584 Decoupled Plasma 관련 질문입니다.[플라즈마 내 입자의 거동] [1] 1489
583 대학원 진학 질문 있습니다. [전공 설계] [2] 1494
582 Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground] [2] 1494
581 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [Self bias와 dummy 공정] [1] 1497
580 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [DBD] [1] 1502
579 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [Self bias] [1] 1509
578 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [PMI] [2] 1515
577 Vacuum chamber(Etching)내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계 [Plasma bulk Temp와 wall Temp] [2] 1522
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