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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다.
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Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다.
[1] | 1344 |
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O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다.
[1] | 1353 |
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플라즈마 내에서의 현상
[1] | 1355 |
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494 |
dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1]  | 1360 |
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493 |
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
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492 |
MATCHER 발열 문제
[3] | 1363 |
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491 |
glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다.
[2] | 1373 |
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수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다.
[1] | 1375 |
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Ar plasma power/time
[1] | 1375 |
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PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다.
[1] | 1394 |
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487 |
RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
| 1394 |
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standing wave effect에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 1400 |
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485 |
rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다.
[1] | 1402 |
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484 |
강의를 들을 수 없는건가요?
[2] | 1408 |
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483 |
charge effect에 대해
[2] | 1410 |
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482 |
플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다.
[1] | 1411 |
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481 |
Plasma 발생영역에 관한 질문
[2] | 1413 |
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480 |
Impedence 위상관련 문의..
[1] | 1414 |
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Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
[1] | 1448 |
