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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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유도결합 플라즈마 소스 질문!!!?
[2] | 1508 |
398 |
3 stub 정합에 대해 궁금합니다.
[1] | 1519 |
397 |
chamber impedance
[1] | 1565 |
396 |
Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 1583 |
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CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다
[1] | 1600 |
394 |
Load position 관련 질문 드립니다.
[2] | 1626 |
393 |
플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다.
[1] | 1637 |
392 |
RPS를 이용한 SIO2 에칭
[1] | 1645 |
391 |
13.56MHz resonator 해석 관련 문의
[1] | 1658 |
390 |
Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련.
[1] | 1661 |
389 |
Si Wafer Broken
[2] | 1662 |
388 |
dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 1703 |
387 |
플라즈마볼 제작시
[1] | 1714 |
386 |
VI sensor를 활용한 진단 방법
[2] | 1734 |
385 |
plasma etching을 관련 문의드립니다.
[1] | 1751 |
384 |
plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다.
[2] | 1753 |
383 |
가입인사드립니다.
[1] | 1765 |
382 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 1787 |
381 |
CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다.
[3] | 1800 |
380 |
산소양이온의 금속 전극 충돌 현상
[1] | 1806 |