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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56680
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68068
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90361
498 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] new 1342
497 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] new 1344
496 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] new 1353
495 플라즈마 내에서의 현상 [1] new 1355
494 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] newfile 1360
493 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. newfile 1363
492 MATCHER 발열 문제 [3] new 1363
491 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] new 1373
490 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] new 1375
489 Ar plasma power/time [1] new 1375
488 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] new 1394
487 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. new 1394
486 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] new 1400
485 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] new 1402
484 강의를 들을 수 없는건가요? [2] new 1408
483 charge effect에 대해 [2] new 1410
482 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] new 1411
481 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] new 1413
480 Impedence 위상관련 문의.. [1] new 1414
479 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] new 1448

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