번호 제목 조회 수
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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49612
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61082
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 78322
399 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1508
398 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1519
397 chamber impedance [1] 1565
396 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1583
395 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1600
394 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1626
393 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1637
392 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1645
391 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1658
390 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 1661
389 Si Wafer Broken [2] 1662
388 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 1703
387 플라즈마볼 제작시 [1] file 1714
386 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 1734
385 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1751
384 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 1753
383 가입인사드립니다. [1] 1765
382 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1787
381 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 1800
380 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 1806

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