안녕하세요 김곤호 교수님 저는 수중방전 관련 연구를 하고있는 학생입니다.

수중 방전관련해서 부족한 점이 너무 많아서 이렇게 질문을 드리게 되었습니다.

1. DC50V이하의 저전압 수중방전에서 UV가 발생하지 않을시 OH라디칼이나 플라즈마를 측정할수 있는 방법이 있는지 궁금합니다.

2. 저전압 수중방전에서 전기분해와 수중 플라즈마 방전의 차이점을 알고 싶습니다.

3. 전극의 형상과 인가전압[pulsed,pulseless]에 따라 전자가 받는 에너지[eV]를 구할수 있는 식이나 내용과 관련된 책이 있는지 궁금합니다.

4. 수중방전에서 아크, 코로나, 글로우 방전 각각의 특징을 알고 싶습니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76814
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20242
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57186
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68736
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92571
535 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1241
534 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1248
533 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1248
532 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1248
531 플라즈마 챔버 [2] 1251
530 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1274
529 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1275
528 플라즈마 기초입니다 [1] 1287
527 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1295
526 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1302
525 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1312
524 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1320
523 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1322
522 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1329
521 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1331
520 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1340
519 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1340
518 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1352
517 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1354
516 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1354

Boards


XE Login