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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76787
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556 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [Skin depth, global model과 floating potential] [2] 1627
555 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1629
554 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [B-dot probe, plasma diagnostics] [1] 1630
553 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [Wave guide 설계 및 matcher 설계] [1] 1656
552 플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory] [1] 1660
551 수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의] [1] 1662
550 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [나노광전자 데이터 분석] [1] 1668
549 CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화] [1] file 1674
548 RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화] [1] 1685
547 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [베르누이 정리] [1] 1688
546 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 1692
545 ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성] [1] file 1692
544 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [플라즈마 생성 반응] [1] file 1693
543 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속] [4] 1698
542 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [Plasma actuator와 DBD 방법] [3] 1703
541 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량] [1] 1710
540 전자 온도 구하기 [쉬스 전압, 스퍼터링 효과] [1] file 1723
539 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [Collisional sheath 정의] [1] 1724
538 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요 [RF power와 power factor] [1] 1727
537 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1731
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