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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59448
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 74043
616 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 196
615 anode sheath 질문드립니다. [1] 199
614 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 201
613 라디컬의 재결합 방지 [1] 201
612 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 218
611 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 218
610 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 223
609 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 233
608 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 237
607 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 251
606 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 263
605 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 263
604 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 264
603 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 268
602 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 271
601 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 276
600 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 277
599 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 278
598 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 279
597 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 281
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