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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72679
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813 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 318
812 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 318
811 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 321
810 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 329
809 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 343
808 Wafer 영역별 E/R 차이에 대한 질문 [Gas flow system vs E/R] [1] 347
807 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 357
806 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 360
805 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 365
804 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 373
803 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [환경 플라즈마] [1] file 376
802 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 377
801 liquid plasma 공부 방향에 대해서 알고싶습니다. [1] 378
800 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포] [1] 384
799 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 391
798 AP plasma 공정 관련 문의 [OES 활용 장비 플라즈마 데이터 분석] [1] 395
797 III-V 반도체 에칭 공정 문의 [1] 395
796 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma] [1] 398
795 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [초고밀도 플라즈마] [1] file 404
794 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 404

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