번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65685
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86006
685 RF Sputtering Target Issue [2] file 276
684 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 279
683 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 283
682 Polymer Temp Etch [1] 286
681 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 297
680 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 305
679 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 310
678 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 314
677 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 315
676 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 321
675 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 327
674 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 327
673 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 329
672 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 337
671 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 342
670 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 343
669 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 343
668 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 359
667 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 362
666 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 363
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