Plasma in general plasma modeling 관련 질문

2022.12.04 20:24

byungjun 조회 수:383

안녕하세요, 저는 플라즈마 응용연구실에서 공부하고있는 우병준 이라고 합니다.

 

 plasma modeling 에 대해서 공부를 하던 도중, 

 

SIOC 박막을 CF4 plasma 를 이용해서 식각하는 과정에서, plasma modeling 이 들어가게 되었는데,

 

Langmuir probe 의 ion density 와 Te 를 갖고 F 의 flux 를 계산하는 방법을 알아내기 위해 여러 논문을 서칭했습니다만, 감이 잘 잡히지 않아서 어려움을 겪고있습니다.

 

0-dimension plasma modeling 을 하기 위해서 고려해야하는 reaction table 의 여러 반응들을 어떻게 기준을 잡아야하는지 잘 모르겠습니다.

 

예를들어, F의 flux 를 결정하는 조건들이 있을텐데 그 조건에 대한 기준을 어떻게 잡아야하는지 모르겠습니다.

 

다른 논문에서 진행했던 방식을 그대로 가져와서 하는건지, 아니면 제가 modeling 의 기준을 잡아야하는건가요 ? 

 

처음하는 분야이다 보니 많이 막막해서, 어떤 방향으로 공부를 해 나가야할지 모르겠어서 질문드립니다..! 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
763 corona model에 대한 질문입니다. [1] 168
762 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 169
761 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 181
760 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 184
759 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 186
758 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 190
757 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 191
756 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 199
755 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 209
754 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 222
753 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 223
752 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 231
751 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 235
750 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 238
749 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 262
748 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 287
747 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 297
746 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 297
745 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 299
744 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 304

Boards


XE Login