Air나 N2를 활용한 로테이팅 젯 플라즈마로 Tool의 유기오염 제거를 평가 적용하고자 합니다.

해당 Tool은 오염 점착 방지를 위하여 실리콘 수지가 Amu(에이뮤코팅)되어 수um T.를 형성하고 있습니다.

실리콘 수지가 중합체일 것으로 추정되는데 Plasma가 해당 코팅에는 어떤 영향을 줄지 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77271
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20485
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57400
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68922
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92969
787 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 126
786 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 127
785 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 132
784 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 140
783 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 140
782 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 143
781 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 144
780 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 152
779 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 158
778 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 160
777 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 168
776 Microwave & RF Plasma [1] 174
» 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 176
774 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 176
773 corona model에 대한 질문입니다. [1] 179
772 ICP에서 전자의 가속 [1] 192
771 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 201
770 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [2] 203
769 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 212
768 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 214

Boards


XE Login