Plasma in general plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장]
2023.07.27 18:30
안녕하세요~
반도체 관련 회사에 종사중으로 항상 이곳에서 많은 도움을 받다가 정말 궁금한게 있어 글 남깁니다
제가 알기로는 플라즈마 오프 시, 쉬스 내에 트랩되어있던 파티클들이 중력에 의해 챔버 바닥 혹은 히터/ESC 위에 있는 웨이퍼로 떨어지는 것으로 압니다
이때 1초만에 0으로 뚝 끄던걸 1-2초 혹은 더 이상으로 나눠서 꺼주면 , 즉 ramping 으로 off 하게 되면 (예를 들어 1000-400-0 이런식으로 몇초에 걸쳐 끔)
플라즈마가 약해질수록 엣지쪽 시스가 두꺼워지면서 플라즈마가 완전히 꺼질 시 플라즈마 내 있던 파티클들이 웨이퍼 옆으로 떨어져서 챔버 하부로 빠져나가는 개념으로 알고있는데 제가 알고있는게 맞을지? 아니라면 플라즈마를 나눠서 끌때 파티큹 측면에서 좋은점이 뭘지? 아니면 이론상 파티클과 상관없을지 의견주시면 감사하겠습니다!!
대부분의 파티클 들은 플라즈마의 전자에 의해 하전됩니다. 즉 음으로 하전되어 있고, 타킷의 음 바이어스에 척력이 형성되어 타킷 위에 부유하게 됩니다. 이때 타킷 표면도 음전위로 하전이 되어 있어, 서로 척력이 형성됩니다. 타킷면의 음전위는 DC 바이어스 전압이라 하고, 이를 쉬스 전기장이라 합니다. key word를 게시판에서 찾아 보시면 좋습니다
이 상황에서 플라즈마가 off 되면 타킷의 음 바이어스가 손실되면서 어떤 일이 벌어질까? 게시판에서 얻은 정보를 이용해서 해석해 보시면 질문에 답을 스스로 찾으실 수 있을 것 같습니다. 도전해 보세요.