Others Microwave & RF Plasma

2024.03.11 16:59

rodman 조회 수:172

안녕하세요. Plasma cleaner 장비 업체에 근무중인 직원 입니다.

 

저희는 RF 타입의 Plasma claner 장비를 제조 합니다.

다름이 아니라, Microwave 방식과 RF 방식의 차이를 자세히 알고싶습니다.

어떤 방식이 효과가 더 좋은지... 

각 방식의 장단점에 대해 자세히 알고 싶습니다.

 

특히... 동남아지역 장비 유저들은 Microwave 방식을 선호 한다고하는데... 이에 대한 근거가 무었일까요?

 

불쑥 질문만 드려 죄송합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77258
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20473
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57383
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68909
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92959
787 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 125
786 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 125
785 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 131
784 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 137
783 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 138
782 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 140
781 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 144
780 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 151
779 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 155
778 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 157
777 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 168
» Microwave & RF Plasma [1] 172
775 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 176
774 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 176
773 corona model에 대한 질문입니다. [1] 178
772 ICP에서 전자의 가속 [1] 190
771 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 201
770 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [2] 203
769 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 209
768 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 210

Boards


XE Login