Etch O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
2020.10.28 15:20
안녕하십니까
반도체 소재 회사에 다니고 있는 노은수 입니다.
궁금한게 있어서 문의 드립니다.
O2 etch 후 gas의 접촉면과 닿은 polymer에서 아래의 그림과 같이 손톱모양으로 변성(?)이 되는 현상이 있는데 왜 이러한 현상이 발생 하는지 알고 싶습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77014 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20347 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57269 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68814 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92813 |
281 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9544 |
280 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9643 |
279 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9678 |
278 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9845 |
277 | ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] | 9890 |
276 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 10029 |
275 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10326 |
274 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10386 |
273 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10388 |
272 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 10504 |
271 | RGA에 대해서 | 10552 |
270 | DC bias (Self bias) [3] | 11321 |
269 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11498 |
268 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11517 |
267 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11552 |
266 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12366 |
265 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12547 |
264 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12776 |
263 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12813 |
262 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13069 |