CCP CCP Plasma 해석 관련 문의

2022.08.30 15:27

플라즈마공부 조회 수:460

 

안녕하세요 Plasma 해석 관련 공부 하고 있는 석사 과정 학생입니다. 

다름이 아니라, Plasma 해석 관련하여 몇가지 테스트를 진행하던 도중 궁금한 부분이 있어 질문드립니다.

 

1. 이미지와 같이 CCP Plasma 를 2D Axisymmetry 구조로 단순화하여 상용 S/W 를 통해 해석하고 있는데,

플라즈마 전자 밀도 분포가 Test Result2, 3 와 같이 Center Peak 점이 발생하였습니다. (13.56M, Ar only, Electrode Gap 30mm)

해석 조건 중 Test1 : 200V(약 13W), Test2 : 200W, Test3 : 500W 로 Bias Power만 상이 합니다.

기존에 해석된 예시의 그림을 보면 Test Result1과 같이 나와야 하는 것으로 알고 있습니다. 

해당 결과를 어떻게 봐야할지 모르겠습니다. 실제로 Electric Potential, Te, Ne값들이 일정한 값으로 수렴했습니다...

이러한 형상의 플라즈마가 형성될 수 있는 건가요? 도움 부탁드립니다...

 

2. 위 문제와 별개로 Wall(확산영역) Permittivity가 증가함에 따라 플라즈마 전자 밀도 변화에 대해 해석하였을때,  분포의 구배가 변하진 않지만, 전체적인 전자 밀도가 상승하였습니다. 해당 현상의 가장 주요한 원인이 벽면에서의 전위차의 크기가 바뀌어 플라즈마에 작용한 전기장의 세기가 커졌기 때문이라고 생각합니다. 이렇게 접근하는게 맞는지 궁금합니다...

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5830
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17287
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53125
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64503
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85116
658 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 361
657 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 365
656 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 368
655 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 369
654 doping type에 따른 ER 차이 [1] 369
653 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 371
652 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 387
651 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 388
650 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 389
649 Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] 389
648 핵융합 질문 [1] 391
647 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 392
646 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 397
645 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 407
644 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 411
643 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 415
642 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 423
641 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 431
640 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 433
639 Plasma Arching [1] 437

Boards


XE Login