OES OES 원리에 대해 궁금합니다!

2018.05.31 19:08

이혜지 조회 수:25809

안녕하세요 한양대학교에서 공부하고 있는 학생입니다

이번에 플라즈마 수업을 듣는데 플라즈마를 검진하는 방법중에 하나인 OES에 대해서 조사를 해보고 있는데

생각보다 자료가 많이 나오지 않아서 어려움을 겪고 있습니다

플라즈마 검진법중 하나인 OES에 대해서 조금 자세하게 설명 해주실수 있을까요??

부탁드립니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [250] 76379
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19967
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57055
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68517
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91222
70 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 23402
69 Arcing 23676
68 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23680
67 플라즈마 쉬스 23891
66 self Bias voltage 23932
65 plasma and sheath, 플라즈마 크기 23933
64 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24104
63 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24116
62 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 24127
61 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 24261
60 plasma와 arc의 차이는? 24447
59 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24486
58 플라즈마가 불안정한대요.. 24489
57 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24606
56 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24712
55 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24751
54 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24788
53 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24814
52 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] 24956
51 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25566

Boards


XE Login