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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[337]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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ccp-icp
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펄스바이어스 스퍼터링 답변
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플라즈마 온도 질문+충돌 단면적 [전자의 에너지에 따른 충돌반응]
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플라즈마 코팅 관하여 [PECVD와 화학물 코팅]
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플라즈마내의 전자 속도 [Self bias]
[1] | 22356 |
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플라즈마의 발생과 ICP
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Dry Etcher 내 reflect 현상 [Chuck 전압/전류 및 field breakdown]
[2] | 22644 |
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질문있습니다 교수님 [Deposition]
[1] | 22808 |
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MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [Impedance matching과 반사파 형성]
[3] | 22909 |
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87 |
Dry Etcher 에 대한 교재 [플라즈마 식각 기술]
[1] | 22926 |
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Peak RF Voltage의 의미
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pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련 [Pulse plasma와 trigger-in]
[1] | 23016 |
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[질문] Plasma density 측정 방법 [Plasma property와 sputtering]
[1] | 23078 |
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안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다.
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floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [Ambipolar diffusion, Floating potential]
[2] | 23192 |
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Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [플라즈마 및 반응기 임피던스]
[1] | 23394 |
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No. of antenna coil turns for ICP [안테나 turn 수와 플라즈마 발생 효율]
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입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) [ICP와 CCP의 heating]
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고온플라즈마와 저온플라즈마
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CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점.
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