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번호 | 제목 | 조회 수 |
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공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] | 76816 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20246 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57187 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68739 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92576 |
55 | RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] | 24774 |
54 | Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] | 24871 |
53 | 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. | 24884 |
52 | PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] | 24987 |
51 | 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? | 25585 |
50 | OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] | 26166 |
49 | 충돌단면적에 관하여 [2] | 26172 |
48 | dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] | 26201 |
47 | 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] | 26480 |
46 | self bias (rf 전압 강하) | 26724 |
45 | 이온과 라디칼의 농도 | 27007 |
44 | 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] | 27215 |
43 | 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 | 27636 |
42 | DBD란 | 27732 |
41 | 플라즈마 온도 | 27801 |
40 | 탐침법 | 27851 |
39 | sheath와 debye shielding에 관하여 | 27860 |
» | esc란? | 28080 |
37 | 플라즈마와 자기장의 관계 | 28367 |
36 | 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] | 28537 |