번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102020
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24528
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61175
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73218
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105414
773 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭] [1] 548
772 Cu migration 방지를 위한 스터디 [전자재료] [1] 549
771 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트] [1] 552
770 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 552
769 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포] [1] 555
768 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 559
767 인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath] [1] 559
766 plasma modeling 관련 질문 [Balance equation] [1] 560
765 CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [Ar plasma chemical etching] [1] 562
764 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield] [1] file 564
763 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 573
762 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 573
761 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성] [1] 576
760 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [플라즈마 확산] [1] 578
759 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장] [1] 592
758 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 592
757 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [HV probe 전압 측정] [2] file 595
756 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 599
755 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [Plasma Cleaning] [1] 603
754 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [국부 방전과 chucking] [1] 604

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