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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63756
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599 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 458
598 anode sheath 질문드립니다. [1] 460
597 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 464
596 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 472
595 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 479
594 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 482
593 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 484
592 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 484
591 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 488
590 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 489
589 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 495
588 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 498
587 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 508
586 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 508
585 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 517
584 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 521
583 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 521
582 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 522
581 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 527
580 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 532

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