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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다.
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코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상
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578 |
Uniformity 관련하여 문의드립니다.
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577 |
임피던스 매칭 및 플라즈마 진단
[1] | 457 |
576 |
Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다.
[1] | 458 |
575 |
플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성
[2] | 461 |
574 |
전자 온도 구하기
[1] | 462 |
573 |
RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의
[1] | 468 |
572 |
플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ?
[1] | 471 |
571 |
RF 반사파와 이물과의 관계
[1] | 472 |
570 |
식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문
[1] | 477 |
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CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다.
[1] | 478 |
568 |
플라즈마 기본 사양 문의
[1] | 479 |
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안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다.
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RF 전압과 압력의 영향?
[1] | 480 |
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교수님 질문이 있습니다.
[1] | 490 |
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O2 Asher o-ring 문의드립니다.
[1] | 491 |
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플라즈마용사코팅에서의 carrier gas
[1] | 492 |
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알고싶습니다
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안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의
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