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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73364
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713 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의 드립니다. [플라즈마 분포와 확산] [1] 778
712 수중방전에 대해 질문있습니다. [플라즈마 생성 및 방전] [1] 782
711 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [열플라즈마와 "플라즈마 금속학"] [1] 786
710 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [핵융합 연구소] [1] 789
709 활성이온 측정 방법 [한국 기계 연구소 송영훈 박사팀] [1] 792
708 Frequency에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [전자와 이온의 열운동 특성과 반응 거리] [1] 792
707 skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해] [1] 797
706 플라즈마 기본 사양 문의 [형광등 동작 원리] [1] 801
705 핵융합 질문 [NFRI 국가핵융합 연구소] [1] 801
704 간단한 질문 몇개드립니다. [공정 drift와 database] [1] 805
703 ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential] [1] 808
702 self bias [쉬스와 표면 전위] [1] 813
701 수중속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다. [방전 특성과 절연 파괴] [2] file 820
700 PEALD장비에 관해서 질문드리고 싶습니다. [장비 세정 및 관리 규칙] [1] 830
699 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [방전 기전] [1] 830
698 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION 간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [플라즈마 충돌 반응] [1] 833
697 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [SiC 식각과 Ring 교체 주기 및 모니터링 방법] [1] 835
696 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [플라즈마 회로 설계] [2] 838
695 전공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [Ion beam source] [1] file 840
694 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 842
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