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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61640
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540 플라즈마 충격파 질문 [1] 609
539 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 615
538 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 619
537 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 627
536 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 629
535 문의 드립니다. [1] 631
534 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 639
533 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 641
532 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 641
531 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 642
530 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 651
529 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 654
528 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 657
527 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 664
526 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 664
525 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 665
524 wafer bias [1] 666
523 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 667
522 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 667
521 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 668
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