ATM Plasma 대기압 상태의 플라즈마 측정

2004.07.02 00:34

이석근 조회 수:19590 추천:317

질문 ::

자주 들어와 보지만 처음으로 글을 쓰네요.
들어와서 보면 참으로 좋은 글들이 많고 유용한 내용들로만 이루어져 있는 것 같아 좋습니다.
다름이 아니라 제가 다니는 회사는 전원장치 즉 플라즈마에 사용될 수 있는 전원장치(현재 사용되고 있으며 판매 중에 있는 제품입니다.)의 플라즈마 생성 능력을 파악할 수 있는 능력이 제가 다니는 회사에 없고, 그만한 지식을 가지고 있지 않아서 혹시 플라즈마 상태의 평가를 받았으면 좋을 것 같은 생각에 우선 물어봅니다. 제일 궁금한 점은 저희 회사에서 만드는 제품이 현장에서는 좋은 성능을 가지고 있다고 말씀들을 하시는데 과연 얼마나 좋은지 다른 문제점은 없는지 알고 싶어서 혹시 평가의뢰를 하게 되면 그 절차와 방법좀 알고 싶습니다. 좋은 답변 부탁드립니다.


답변 ::

대기압 플라즈마의 특성을 직접 측정하기는 매우 어렵습니다. 이유는 대기압에서는 플라즈마 밀도도 높지만 개스입자와 전자의 충돌성이 매우 높아 평형상태가 국부적으로 이뤄지기도 하며 발생도 전체적이지 못하여 측정하고자 하는 위치의 플라즈마 특성이 쉽게 바뀌기 때문입니다. 일단 이런 변동값을 무시한 채로 평균적인 값을 측정하곤 하는데 위의 충돌성을 고려한 여러가지 모델을 이용할 수 있을 것입니다. 개발되는 측정법으로는 반응시 나오는 빛을 이용하거나 레이져를 투사하여 반응되는 빛의 값을 이용하거나 실제 탐침을 이용하여 측정이 가능할 것 입니다만 위에서 언급한 바와 같이 정량적인 값을 얻기란 매우 어렵고 단지 정성적인 경향을 추론하려 한다면 가능할 것 입니다. 본 실험실에서도 이 같은 방법으로 대기압 플라즈마의 특성을 엿보고 있습니다.

본 실험실에서는 탐침을 주로 많이 사용하고 OES 등을 이용하여 발생 특성을 관찰합니다. 대부분의 상압 플라즈마의 경우 진단 장치를 설치하기가 수월치 않아서 장치의 특성이 고려된 설치가 필요하게 되며 이에 소모되는 시간이 길어지기도 합니다. 일반적인 저진공 플라즈마의 경우에는 반응기가 진공장비 규격에 의해서 제작되어 있음으로 다양한 형태의 대기압 장비에 비해서 설치가 비교적 쉽습니다. 참고하시기 바랍니다.
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