Others analog tuner관련해서 질문드립니다.
2017.03.07 16:14
안녕하세요 반도체 장비회사에서 인턴으로 일하고있습니다.
pecvd장비를 이용해 ACL(amorphous carbon layer)을 올리는데 박막 stress를 줄여보고자 analog tuner를 chamber side와 bottom에 달았습니다.
여기서 궁금한 것은 analog tuner가 어떤 원리로 쓰여지는건지 궁금합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77018 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20348 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57271 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68816 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92816 |
| 661 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 640 |
| 660 | remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] | 645 |
| 659 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 646 |
| 658 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 654 |
| 657 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 659 |
| » | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 661 |
| 655 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 676 |
| 654 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 679 |
| 653 | Polymer Temp Etch [1] | 686 |
| 652 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 691 |
| 651 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 693 |
| 650 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 695 |
| 649 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 706 |
| 648 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 710 |
| 647 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 713 |
| 646 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 719 |
| 645 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 723 |
| 644 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 728 |
| 643 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 734 |
| 642 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 734 |
저희는 잘 모르는 jargon 입니다. Tuner가 power 혹은 impedance를 맞추기 위한 추가 tunning knob을 의미하는지는 모르겠습니다, 다만 장치가 제공하는 공정 중에 plasma 상태에 따른 피막의 스트레스 성분에 대한 자료가 있어야 이를 사용할 수 있을 것이라는 생각이 듧니다. 자료가 충분히 제공이 되지 않았다면, 박막 재료 하시는 분과 먼저 논의하기를 추천합니다. 저희는 박막의 특성을 잘 모르며, 박막 플라즈마를 다룬 경험이 많지 않습니다만, 박막 플라즈마를 하는 연구실에서는 알 수도 있는 일입니다. 다만 관련 플라즈마 정보를 얻기가 쉽지 않으므로, tunning의 원리를 찾기에는 연구가 필요할 것으로 예상합니다.