Others O2 Plasma 에칭 실험이요

2019.01.30 14:20

Elin0503 조회 수:820

안녕하세요. 회사에 다니고 있는 직장인입니다.


이번에 저희 회사 연구실에서 O2 Plasma를 이용하여 Carbon Film을 날리는 실험을 계획중에 있습니다.


그런데 Carbon Film이 Depo된 Wafer를 구하기가 쉽지가 않습니다..


혹시 Carbon 시편을 구할 수 있는 곳이라던가 연락처아시면 


공유가 가능할까 싶어 너무나 간절한 마음에 여기에 이렇게 질문글을 작성합니다..


도움 부탁드리겠습니다..

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [158] 72988
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17580
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55511
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65681
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85997
564 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 797
563 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 800
562 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 803
561 Plasma Generator 관련해서요. [1] 806
560 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 810
559 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 818
» O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 820
557 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 821
556 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 833
555 진학으로 고민이 있습니다. [2] 834
554 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 834
553 플라즈마 챔버 [2] 835
552 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 835
551 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 837
550 플라즈마 관련 교육 [1] 837
549 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 843
548 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 848
547 고진공 만드는방법. [1] 851
546 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 853
545 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 856

Boards


XE Login