Others Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [Chucking/dechucking 파티클 제어]

2020.06.08 18:29

튠업 조회 수:1468

안녕하십니까 교수님

 

공정 실습 중 Dechucking 이슈에 대해 궁금증이 있어 이렇게 글을 남깁니다.

제가 확인한 이슈는 dechucking 이후 핀업 진행 시 웨이퍼가 슬라이딩 하는 문제였는데, 해당 이슈에 대해 config값을 (0->5)변경하여 He flow가 되도록 조치했다는 것을 알았습니다.

chucking 과정중 He의 역할이 온도를 낮추는 역할 정도로 알고 있는데, He 가스가 chucking에서 어떤 역할들을 하는지 궁금합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 103250
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24704
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61508
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73515
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105930
693 전쉬스에 대한 간단한 질문 [Debye length 및 sheath 형성] [1] 856
692 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [플라즈마 생성, Plasma collision reaction] [1] 863
691 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 864
690 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [Sheath 전기장 및 instability] [1] file 871
689 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [Plasma information과 monitoring] [1] file 871
688 ICP 후 변색 질문 874
687 프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath] [1] 876
686 Co-relation between RF Forward Power and Vpp [RF ground] [1] 877
685 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [Self bias와 RIE] [1] 877
684 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별] [1] 877
683 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [UV energy] [1] 885
682 RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화] [1] 905
681 CCP RIE 플라즈마 밀도 [Global model, Plasma generation, Ionization collision] [1] 914
680 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [플라즈마 이온화 및 해리 반응, 반응기 벽면 세정] [1] 926
679 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [Plasma torch와 cyanide] [2] 934
678 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 939
677 기판표면 번개모양 불량발생 [Plasma charging] [1] 944
676 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 947
675 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능] [2] 950
674 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [Self bias] [1] 952
쓰기
태그

Boards

XE Login