Others Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다.
2020.06.08 18:29
안녕하십니까 교수님
공정 실습 중 Dechucking 이슈에 대해 궁금증이 있어 이렇게 글을 남깁니다.
제가 확인한 이슈는 dechucking 이후 핀업 진행 시 웨이퍼가 슬라이딩 하는 문제였는데, 해당 이슈에 대해 config값을 (0->5)변경하여 He flow가 되도록 조치했다는 것을 알았습니다.
chucking 과정중 He의 역할이 온도를 낮추는 역할 정도로 알고 있는데, He 가스가 chucking에서 어떤 역할들을 하는지 궁금합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] | 5815 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17218 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 53084 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 64491 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 85106 |
| 558 | standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] | 745 |
| 557 | 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] | 753 |
| 556 | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 754 |
| 555 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 772 |
| 554 | O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] | 776 |
| 553 | 플라즈마 챔버 [2] | 777 |
| 552 | 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] | 781 |
| 551 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 788 |
| 550 | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 789 |
| 549 | Plasma Generator 관련해서요. [1] | 791 |
| 548 | 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] | 797 |
| » | Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] | 798 |
| 546 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 802 |
| 545 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 803 |
| 544 | CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] | 805 |
| 543 | HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] | 808 |
| 542 | 알고싶습니다 [1] | 810 |
| 541 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 810 |
| 540 |
langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다.
[1]  | 817 |
| 539 | plasma 형성 관계 [1] | 834 |
성균관 대학교 김태성교수님 연구실로 문의하시면 좋은 답변을 구하실 수 있을 것 같습니다. chucking/dechucking에서 생성될 수 있는 파티클 제어까지 고려해야 할 것 같습니다.