번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [54] 1169
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 887
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49370
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59412
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 73942
476 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 708
475 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 714
474 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 720
473 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 726
472 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 738
471 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 739
470 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 740
469 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 744
468 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 746
467 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 748
466 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 756
465 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 760
464 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 767
463 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 767
462 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 771
461 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 777
460 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 779
459 플라즈마 코팅 [1] 786
458 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 801
457 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 802

Boards


XE Login