제가 self bias에 대해 이해한 바는,

"RF를 가해주면,전자와 양이온의 이동도 차이로 인해 양 전극에 모두 self bias가 나타난다. 두 전극의 면적이 동일하면 같은 크기의 self bias가 생겨 전위가 같아져 어느 한쪽이 음극의 역할을 하지 못하므로 면적조절,capacitor연결,접지 등의 방법으로 한 쪽의 self bias크기를 키워 한쪽 전극을 음극의 역할을 할 수 있게 만들어준다."

입니다.

혹시 이해한 내용이 맞는지 확인 한번만 해주시면 감사하겠습니다!

 

제가 헷갈리는 부분은

교수님께서는 "이때의 표면 전위는 충전에 의한 전위 (전압)으로 인가된 전원 전압(RF)의 DC shift 값을 의미하게 되며, 플라즈마와 만나는 전극의 DC shift 전압을 스스로 결정이 되는 값으로서 selfbias 값이라고도 합니다. 따라서 모든 전극면에는 DC shift 전압이 만들어집니다."라고 설명해주셨으나, 교육에서는 두 전극의 크기가 같고 조건이 동일하다면, self bias가 형성되지 않는다. 라고 하였습니다.  제가 교수님 말씀을 이해한 바로는 두 전극의 면적이 동일하더라도 양 전극에 크기가 같은 self bias가 생기는 것이라고 이해했기 때문입니다.

하여 두 내용이 조금 모순되는 부분인 것 같아 제가 개념을 잘못이해하고 있는 것인지 궁금해서 질문드립니다! 읽어주셔서 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76871
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92694
637 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 732
636 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 736
635 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 744
634 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 747
633 교수님 질문이 있습니다. [1] 760
632 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 761
631 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 761
630 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 763
629 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 771
628 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 778
627 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 784
626 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 787
625 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 788
624 Collisional mean free path 문의... [1] 794
623 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 794
622 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 802
621 플라즈마 충격파 질문 [1] 804
620 라디컬의 재결합 방지 [1] 806
619 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 808
618 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 813

Boards


XE Login