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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58444
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 72397
228 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 87
227 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 94
226 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 123
225 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 131
224 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 132
223 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 138
222 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 147
221 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 168
220 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 169
219 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 173
218 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 184
217 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 210
216 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 220
215 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 232
214 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 236
213 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 245
212 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 251
211 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 258
210 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 259
209 전자 온도 구하기 [1] file 260

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