Others Plasma Gas의 차이점 [플라즈마 화학 반응 및 에너지 전달]
2009.10.16 04:38
안녕하세요
저는 플라즈마 실무를 이제 막 접하게 된 직장인입니다
화공과를 나왔지만 회사에서 주어진 일이라 어쩔 수 없이 플라즈마를 담당하게 되었습니다
Plasma에 사용하는 Gas가 여러가지가 있던데 차이점이 무엇인지 알 수 있을까요?
예를 들어,
Ar, O2, CF4, H2N2 등을 사용하는데 언제 이 가스들을 사용해야 하는지 알 수가 없습니다
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