안녕하십니까 교수님!!.

가입없이 게시판으로 많은 가르침을 받아가다가 이제서야 질문이 있어 가입후 글을 쓰게 되었습니다.

 

PECVD에서..

HF는 electron 온도 증가로 인한 plasma density 향상

 

LF POWER의 증가는 ion bombardment 를 증가시켜 박막이 더 dense 해져 stress가 더 compressive쪽으로 간다라고 이해하는게 맞는 걸까요? 

density가 높아지는데 compressive한 stress를 가진다고 하는 매커니즘이 잘 이해가 되질 않습니다.

(density가 높으면 (더 빽빽하게 증착되면) 밀려서 사이드쪽으로 늘어날려고 해서 compressive 스트레스를 가진다라고 혼자 이해했는데 맞는건지요.

 

막질의 density가 올라가면 compressive한 스트레스를 가지는게 항상 그런건지

(원래 Tensile한 막질이더라도 LF power 증가하면 Compressive한 방향으로 바뀌나요?)

 

아니면 막질마다 그 효과가 다른건지 궁금합니다. 

 

 

 

추가로 HF영역에서는 frequency가 높으니 유효질량이 작고 mobility가 빠른 electron에 에너지를 더 가해주기 쉽고 

반대로 LF영역에서는  frequency가 낮으니 상대적으로 질량이 크고 느린 ion에 에너지를 가해주기 쉽다고 이해하는게 맞는걸까요?

 

 

 

질문자체에 잘 못된 점이 있다면 바로 잡아주시면 감사하겠습니다!.  

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102928
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24689
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61435
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73481
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105844
221 Hollow Cahthode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [장치 setting과 전극재료] [1] file 1054
220 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해] [1] 1057
219 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [충돌 거리 및 Deposition] [1] 1060
218 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [플라즈마 표면 반응] [1] 1080
217 플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상] [1] 1083
216 플라즈마 용어 질문드립니다. [Self bias] [1] 1083
215 문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density] [1] 1137
214 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 1165
213 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [DC glow discharge] [1] 1168
212 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소] [1] 1183
211 Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전] [1] 1186
210 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1193
209 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 1202
208 교수님 질문이 있습니다. [Child-Langmuir sheath] [1] 1202
207 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1214
206 RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher] [1] 1224
205 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [임피던스 매칭] [1] 1229
204 플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films] [1] 1236
203 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [I-V characteristic 방전 커브] [2] 1240
202 자기 거울에 관하여 1246

Boards


XE Login