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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62999
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161 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 1058
160 플라즈마 기초입니다 [1] 1061
159 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1128
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157 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1163
156 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1208
155 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1214
154 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1240
153 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 1253
152 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1275
151 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 1278
150 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1291
149 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1343
148 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1345
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146 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1423
145 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1490
144 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1498
143 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1689
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