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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66721
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171 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1162
170 플라즈마 기초입니다 [1] 1179
169 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1201
168 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1257
167 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1269
166 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1302
165 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1303
164 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1328
163 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1348
162 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1352
161 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1382
160 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1394
159 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1398
158 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1424
157 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1561
156 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1567
155 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 1641
154 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 1674
153 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1699
152 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1705

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