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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68922
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139 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3168
138 CVD 공정에서의 self bias [1] 3221
137 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3280
136 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3454
135 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3476
134 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3502
133 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3506
132 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3557
131 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3568
130 Descum 관련 문의 사항. [1] 3797
129 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3882
128 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 4025
127 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 4057
126 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4270
125 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4889
124 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 5242
123 RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] 5719
122 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5956
121 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6355
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