Collision 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의
2013.07.17 17:19
안녕하세요~
저는 분석장비 판매 회사에 다니고 있습니다.
저희장비중에 3000도까지 올리는 유도가열로가있는데 이 장비는 챔버안에 유도코일이있고 그 가운데에 그라파이트 도가니를 넣습니다. 도가니 안에는 그라파이트 파우더가 들어가있구요.
그리고 챔버 커버를 다 닫은 후 처음에는 진공을 잡습니다. 약 2.8 x10-2까지 그리고 나서 아르곤 가스를 넣어주는데 약 30분정도 흘려주고 히팅을 시작하는데 이때 플라즈마 현상이 발생하고 파워가 현저히 떨어지는것을 볼수 있습니다.
정상동작이라면 이 플라즈마가 없어야 되는데...이 플라즈마가 발생하게되어 장비를 사용못하고 있는 상태입니다.
원인이 진공상태에서 히팅을 가해서 그런가 생각되어 챔버내 아르곤 가스 량을 측정해보았으나 아르곤 압력은 약 0.035Mpa정도 나왔습니다. 또한 그라파이트 파우더가 코일과 주변부를 오염시켜 쇼트 문제인가 해서 챔버도 닦아 봤지만 여전히 같은 현상이 발생합니다.
이 플라즈마 현상이 왜 발생하는지 원인을 알수있을까 해서 이렇게 문의를 드립니다.
감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76736 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
133 | 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] | 3443 |
132 | Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] | 3445 |
131 | 방전에서의 재질 질문입니다. [1] | 3557 |
130 | Descum 관련 문의 사항. [1] | 3721 |
129 | 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] | 3753 |
128 | RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] | 3774 |
127 | ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] | 3955 |
126 | RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] | 4180 |
125 | Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] | 4809 |
124 | RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] | 5152 |
123 | RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] | 5677 |
122 | OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] | 5927 |
121 | O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] | 6182 |
120 | 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] | 6418 |
119 | O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] | 6438 |
118 | 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] | 6465 |
117 | 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] | 6540 |
116 | MFP에 대해서.. [1] | 7824 |
115 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8122 |
114 | 핵융합에 대하여 | 8564 |