Ion/Electron Temperature 플라즈마 발생 억제 문의
2012.03.19 14:12
안녕하십니까
플라즈마 발생을 억제시킬수 있는 방법은 무엇인지 어쭙고자 글을 올리게 되었습니다.
고주파 유도가열(3MHz)을 이용하여 실리콘(Si)을 가열하여 아르곤 분위기에서 실리콘 결정성장을 시키고 있습니다.
(코일은 팬케이크 형태임.)결정 성장을 시킬때 가끔씩 코일에 플라즈마가 발생하며,이로인해 코일arcing이 가끔 발생하여 코일이
소손되는것 같습니다.
플라즈마 발생을 억제시킬수 있는 방법이 없을지 문의 드립니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77044 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20370 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57280 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68827 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92828 |
| 118 | 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] | 6475 |
| 117 | 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] | 6540 |
| 116 | MFP에 대해서.. [1] | 7831 |
| » | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8128 |
| 114 | 핵융합에 대하여 | 8564 |
| 113 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8582 |
| 112 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8756 |
| 111 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8936 |
| 110 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 9014 |
| 109 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9048 |
| 108 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9263 |
| 107 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9536 |
| 106 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10388 |
| 105 | DC bias (Self bias) [3] | 11326 |
| 104 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11499 |
| 103 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12367 |
| 102 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12776 |
| 101 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13070 |
| 100 | 플라즈마의 상태 | 14083 |
| 99 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14146 |