Sheath floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점

2008.10.26 11:30

김한성 조회 수:22852 추천:420

안녕하십니까? 반도체 제조업에 종사하는 엔지니어입니다.

플라즈마 기초 토픽들을 공부하던 중 이해가 안가는 부분이 있어서 이렇게 문의드립니다.

플라즈마에 isolated (floating) substrate 를 넣었을 때, 전자와 이온이 각각 nv/4 의 flux 로

입사하고, 속도가 더 빠른 전자가 먼저 기판을 charging 시켜서 sheath 형성의 발판을

마련한다고 여러 책들에 소개되고 있는데요,

전자나 이온이 왜 기판에 capture 가 될까요? 초기에 기판은 중성이 아닌가요?

그냥 튕겨나가지 않고 왜 기판을 charging 시키는 지 이해가 되지를 않습니다. 이것을 설명할

수 있는 화학적, 혹은 전기적인 해석이 가능할까요?

답변 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76728
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20191
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68700
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92278
273 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 100
272 Microwave & RF Plasma [1] 112
271 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 124
270 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 136
269 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 146
268 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 164
267 corona model에 대한 질문입니다. [1] 169
266 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 170
265 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 189
264 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 206
263 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 207
262 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 225
261 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 250
260 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 309
259 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 310
258 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 315
257 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 319
256 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 341
255 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 345
254 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 361

Boards


XE Login