Others 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다.

2020.07.12 22:53

호우반도체 조회 수:308

안녕하세요? 

저는 플라즈마에 관심이 많은 학생입니다.


다름이 아니라, 플라즈마 공정 시 어떠한 박막에 대하여 photon이 박막의 결합을 파괴하면서 플라즈마 손상을 줄 수 있다는 내용을 들었는데요,

자외선 측정기들을 찾아보니 mW/cm^2 의 값으로, 측정이 되어 값을 알 수 있는데,

예를 들어 어느 한 결합의 결합 에너지가 10 eV 라면, 자외선 측정기의 값과 결합에너지를 직접적으로 광자에너지의 단위로 비교가 가능할까요?

검색해보니 mW 는 시간을 도입하여 mW x sec --> mJ로 계산이 되고 이를 eV로는 변환할 수 있는 것 까지는 확인하였으나 /cm^2 를 어떻게 해야할지 잘 모르겠습니다.

고견주시면 감사드리겠습니다.

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